干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。

螺桿泵應用

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

干式螺桿真空泵應用案例圖片_溶劑回收系統圖

我國螺桿泵發展現狀

真空泵是一個量大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。目前國外制藥精細化工行業干式螺桿真空泵占全部真空泵的60%左右，目前國內在此行業只占到10%-20%，而且隨著環保形勢的嚴峻化，這一比例還在不斷上升。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真空泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證有些泵還出口國外得到國外用戶的認可并受到好評應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。

液環泵

雖然液環泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵。由于液環泵大部分是鑄件加工要求也不高屬勞動密集型產品所以國產液環泵在價格上有競爭優勢。

干泵

國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、制藥、薄膜產業的迅速發展。在日本半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。據統計目前國產干式螺桿真空泵的應用占比大約在10%-20%，隨著我國環保形勢日趨嚴峻，這一比例將在新建項目中將不斷擴大。從沃爾姆干式螺桿真空泵的每年銷售數量上看，一直處于增長上升中。

干式真空泵優點

除上圖中所列舉的優勢外，螺桿真空泵工作過程不產生污水，更加符合國家環保需求，同時螺桿泵受環境和水溫影響較小，相比于水環真空泵，螺桿真空泵的缺點是精度高，加工難度大，對于加工設備的精度需求更加依賴。

干式螺桿泵與液環泵性能對比●螺桿泵與液環泵的經濟性對比

除上圖中所列舉的優勢外，螺桿真空泵工作過程不產生污水，更加符合國家環保需求，同時螺桿泵受環境和水溫影響較小，相比于水環真空泵，螺桿真空泵的缺點是精度高，加工難度大，對于加工設備的精度需求更加依賴。